檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "鈍化層".ckeyword (精準) and year="105"
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本論文分為兩部分,第一部分探討不同氮氣流量下成長之氮化鋁,其晶粒大小對漏電流的影響。第二部分探討探討不同厚度的氮化鋁鈍化層,其等效固定電荷 Qeff、絕緣層陷阱電荷密度Not 以及介面缺陷密度Dit…
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本研究目的為探討二氧化矽顆粒於化學機械研磨/平坦化(CMP)製程中的加工機制。研究方法是將直徑為800奈米的二氧化矽顆粒黏著於探針尖端,形成顆粒式探針(tip-grit),與運用封閉式回饋控制系統原…